中古 CANON FPA 3000 i5 #293615951 を販売中

CANON FPA 3000 i5
ID: 293615951
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
i-Line stepper, 8" 1994 vintage.
CANON FPA 3000 i5は、半導体製造のために設計されたウェハステッパーです。チップやMEMSなどの各種部品の測定・製造が可能です。ステッパーには、i-line、クリプトン・フッ化物(KrF)エキシマレーザー、高精度な倍率ステージなど、幅広い先進技術が組み込まれています。このデバイスは、欠陥を最小限に抑えた高品質の部品を製造できるため、大量生産に最適です。CANON FPA 3000I5は、高速ウェーハ切断を容易にするi-lineエキシマレーザーを搭載しています。この技術により、1時間あたり最大1500個のウェーハを高速かつ効率的に露出できます。さらに、KrFエキシマレーザーを使用すると、露光結果が高く、線幅が小さくなります。ステッパーはまた、露出均一性を高めるメカニズムと高精度の倍率ステージを組み込みます。この技術は、正確で信頼性の高いウェハレベルの露出を可能にします。高露出機能以外にも、高精度で正確なステッパー性能を実現する高度なZ軸を搭載したFPA-3000 I5。このデバイスには、効率的かつ高速な生産のための幅広い自動化機能が装備されています。さらに、Dynamic Autofocus (DAF)テクノロジーを搭載し、コンポーネントの統一的な統合とスループットの向上を実現しています。この技術により、露出ショットの変化が速くなり、マスクのアライメント時間が短縮されます。さらに、キヤノンFPA-3000 I5には高精度の露出コントローラが搭載されており、安定した効率的なプロセス結果を実現しています。このデバイスには、ウェーハの環境を調節および監視する高度な熱管理システムが装備されており、温度と湿度レベルを安定しています。この技術は、処理されたウェーハの品質を維持し、露出エラーを防ぐのに役立ちます。FPA 3000I5は信頼性が高く、高効率のステッパーで、幅広い部品生産に適しています。高度な機能と最先端のオートメーション技術により、大量生産に最適で、最適な歩留まりでより効率的なプロセスを活用できます。高精度の露出コントローラは安定した信頼性の高いパフォーマンスを保証し、高度な熱管理システムは高品質の結果を維持します。
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