中古 CANON FPA 3000 i5 #293607521 を販売中

CANON FPA 3000 i5
ID: 293607521
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
i-Line stepper, 8" X-Terminal Non functional Missing parts: Hard Disk Drive (HDD) Mouse Reticle robot finger Damp CD PCB 1997 vintage.
CANON FPA 3000 i5は、半導体業界の高精度マイクロリソグラフィ用に設計された最先端のウェハステッパーです。この装置は比類のない精度と性能を提供し、さまざまな産業用途に最適です。高解像度の5インチ(127mm)画像サイズ、ハイエンドキヤノン光学系、フィールドプログラマブルアレイ(FPA)を搭載し、優れた性能を実現しています。キヤノンFPA 3000I5は、特定のアプリケーションの精度と最適化のための組み込みステージユニットを内蔵しています。この機械にまた制御可能な変数の広い範囲を可能にする手動および自動ウェーハ制御の選択があります。ステッパーの高解像度および均一性コントロールは、解像度とトレースの完全性を最適化するために特別に設計されています。FPA-3000 I5は、ユニークな機能の様々な組み込み、比類のない光学系を誇っています。オートフォーカスツールにより、生産条件に関係なく最適なリソグラフィ精度を保証します。このアセットは、フィールドの深さ、回折、および解像度の面で優れた性能を提供するユニークなデジタルピューピル素子を含む高度な光学系を利用しています。FPA 3000I5には伝説的な速度と安定性があり、露出に必要な慣性力補償はありません。CANON FPA-3000 I5は、ウェーハプレートの読み込みと管理を効率化し、露光時間の短縮とスループットの向上を実現します。このモデルには高度なオートメーションが組み込まれており、セットアップと操作に必要なユーザーインタラクションは最小限に抑えられています。ステッパーはまた、露出プロセスの変化を検出し、ユーザーに警告することができる統合された故障検出装置で、最適な信頼性のために設計されています。FPA 3000 i5は、優れた性能、精度、信頼性を提供する強力なハイエンドウェーハステッピングシステムです。このユニットは、研究用と産業用の両方に適しており、半導体産業に必要な性能と精度を提供します。
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