中古 CANON FPA 3000 i5 #293607520 を販売中
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ID: 293607520
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
i-Line stepper, 8"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
1997 vintage.
CANON FPA 3000 i5は、大規模集積回路の製造に使用される高性能の光学プロセッサです。高精度、高精度、高速な大規模集積回路（LSIC）を実現するために設計された最先端のウエハステッパーです。このマシンは、5軸スキャン装置、高解像度5 µm光学、6秒の高速スキャン速度を特徴としています。ビジョンコントロールシステム技術を搭載し、ビジョンユニットコンポーネントを統合して、ウェーハ上のコンポーネントの正確な配置と配置を可能にします。キヤノンFPA 3000I5は、光学、エレクトロニクス、ドライブユニット、ビジョンシステムなどのベースコンポーネントのセットを提供する汎用プラットフォームで構成されています。光学系には、Lumicron L i5-L3照明、Magnicon L i5-H3、 Zeiss Kg-10i5レンズ、Oriel L7-E3、 Lumenatech、モジュラーイルミネータが含まれます。これらの光学系は、高精度のイメージング、高解像度の検査、および非常に高速なスキャンを可能にします。電子機器には、高速デジタル処理および制御機械が含まれ、最高の精度と制御を提供します。駆動ユニットは、高性能ステッピングモータで構成され、スキャンと位置決めのための機械ユニットを駆動し、滑らかで正確な処理を提供します。ビジョンソフトウェアは、ウェーハ内のコンポーネントの高度な検査とアライメントを可能にします。FPA-3000 I5は多くの大量の生産プロセスおよび適用のために適しています。このツールは、1 µm未満の画像シフトと歪み、6秒の高速スキャン、およびIC生産のための高精度アライメントを備えた高精度5 µm光学を備えています。FPA 3000I5は、200mm、 250mm、 300mm、 450mmなど様々なサイズのウェーハを加工することができます。また、シリコンウェーハの高精度な処理を可能にし、オーバーレイ精度やスループット性能も変化します。革新的な技術により、このウェーハステッパーは複雑なIC生産アプリケーションに最適です。
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