中古 CANON FPA 3000 i5 #293606923 を販売中

CANON FPA 3000 i5ウェーハステッパーは、高品質のフォトマスクとウェーハを製造するために設計された高度なリソグラフィ装置です。このシステムは、ステージ精度を調整可能な高出力可変数開口（NA）投影レンズを備えており、複雑な構造と優れたプロセス制御を可能にします。このユニットは、内蔵のHDR （High Dynamic Range）イメージング技術を使用して、オンチップ機能の詳細を提供し、複雑な回路レイアウトの歩留まり率を向上させます。このマシンは、多方向アライメント用の5軸電動ステージと、正確なフォーカスコントロール用の強力なフォーカスコントローラを備えています。また、CANON FPA 3000I5は、900um/sまでのスキャン速度で、比類のない処理速度を提供します。高いNAと共に、高いスループットを確保し、大量生産に最適なツールです。高度なステッピングコントローラは、高度な自動化機能により、より良いプロセス制御を提供します。このアセットは、最大125nmの分解能で高精度のマスクを製造することも可能です。FPA-3000 I5は、機能認識、アライメント、登録技術など、さまざまな高度な機能も提供しています。オートメーション機能により、1回の操作で複数の機能をフォトマスクにすばやく検出して正確に配置できます。内蔵のズームおよびパンニング機能により、さらに詳細なレベルの精度を提供します。また、明るいフィールド、暗いフィールド、顕微鏡などの高度な検査システムと併用することで、高い品質と精度を確保することができます。FPA 3000I5は、ユーザーのニーズに合わせて簡単にカスタマイズできる高度にカスタマイズ可能なシステムです。多彩な互換性のあるアクセサリとソフトウェアアプリケーションを備えており、さまざまなプロセスやシステムに統合することができます。単位は信頼でき、例外的な性能を提供します、それをフォトマスクの生産のための理想的な選択にします。