中古 CANON FPA 3000 i4 #9402495 を販売中

CANON FPA 3000 i4は、半導体製造および研究における高度なリソグラフィ用途向けに設計された5軸ウェーハステッパー装置です。独自の線形加速/減速機構と、3次元フィールド補正用の9軸動作装置を備えており、光学リソグラフィ用途で最高の解像度を提供できます。統合されたイメージフォーミング回路と内蔵の光学システムにより、ウェーハステージの正確なアライメントが保証され、スループットと信頼性が向上します。CANON FPA-3000I4の自動アライメントユニットは、2台の自動アライメントセンサを使用して、マスクとウェハステージ間の高速かつ正確なアライメントを実現します。この機械は適切なレンズの位置およびビーム整列のためのレーザーの偏向器そしてレーザー信号インターフェイスを使用します。さらに、このツールは、ステッピングプログラミングのためのノウハウを提供し、ウェーハのパフォーマンスを強化し、ウェーハの種類の多種多様を処理することができます。両方ともパターン化されたウェーハの製作に使用することができます。さらに、FPA 3000I4は、より正確で高解像度のイメージングを可能にする5倍の縮小スキャナを備えています。コンパクトな設計で動作スペースを最小限に抑え、振動を低減し、精度を高めます。さらに、FPA-3000 I4は従来のマスクライティングステッパーよりも最大20倍の速さでパターンをキャプチャして保存することができます。また、露出、表示、パターン最適化などのクラス最高のリソグラフィ操作も提供します。キヤノンFPA 3000I4の高度な冷却資産は、適切な熱管理を保証し、安定した動作環境を提供します。このモデルでは、ウェーハの状態に基づいて温度を検出、測定、調整する動的温度補正システムなどの高度な監視機能も備えています。適応露光ガイダンスを活用することで、困難なリソグラフィー用途でも最高の収量を得ることができます。FPA 3000 I 4は、SEMI E-170やSEMI E-182などの複数の業界標準にも準拠しており、ソートの受け入れ/拒否をサポートしています。CANON FPA 3000 I 4は、パターンウエハ製造のための先進的なプラットフォームをユーザーに提供するため、半導体製造および研究に最適な機器です。固定マスク、大量生産、LEDリソグラフィーアプリケーションの精度、感度、速度、効率を提供します。直感的なコントロールとクラス最高の機能セットを備えたこのウェーハステッパーは、半導体の生産ニーズを前進させるために必要なすべての機器をユーザーに提供します。