中古 CANON FPA 3000 i4 #9384534 を販売中

CANON FPA 3000 i4は、紫外線プロジェクション光学機器と最新のリソグラフィ技術を駆使して、ウェーハにフォトマスクを正確にパターン化する先進的かつ効率的なウェーハステッパーです。この高度なデバイスは、欠陥を最小限に抑え、プロセスのスループットを最大化し、迅速なスループットを提供するための多くの機能を提供します。ステッパーは、レンズ要素と高度なスキャナの組み合わせを利用して、可能な限り最高の精度を達成します。レンズ要素は、デバイスに最大0。72の数値開口を与え、1から4までの最先端の減磁比を提供します。ステッパーは、ポジティブコントラストとネガティブコントラストの両方のタイプを処理することもできます。このデバイスは、ラインエンドのエッジなどの小さな機能を提供する改良された光学システムと、イメージング分野での大きな偏光、平坦化、均一性を備えています。さらに、レンズの光利用を改善し、フォトマスクの重複を大幅に低減する半放牧の発生率を持っています。これにより、このデバイスは幅広いフォトマスクやさらに複雑なパターンに適しています。CANON FPA-3000I4には、フレームとフィールドイメージングの両方を正確に処理できるパターンアライメントシステムが搭載されています。フレームとフィールドイメージングには、それぞれ2つのパターンアライメントシステムが使用されます。フレームアライメントユニットは3つのポイントを比較してフレーム全体を揃えることができ、フィールドアライメントマシンはフレームアライメントツールと比較して小さな特徴を識別することができます。このデバイスはまた、高効率の長方形スキャン光学、高性能デフレクター光学、高精度オートフォーカス光学など、レチクルスキャン、偏向、フォーカスのためのさまざまなオプションを提供します。これらの機能を組み合わせることで、許容差が大きく精度の高いさまざまなパターンを処理することができます。FPA 3000I4は堅牢なリソグラフィープロセスも提供しています。デバイスで使用される空冷ランプは、フォトマスクにパターンを作成するために深い紫外線を作成し、欠陥のリスクを軽減するのに役立ちます。さらに、ランプは他の光学系のアライメントや調整を必要とせずに効率的に交換することもできます。全体として、FPA-3000 I 4は高度なウェーハステッパーであり、プロセス効率の向上、ダウンタイムの短縮、スループットの高速化を実現するさまざまな機能を提供します。リソグラフィー技術やパターン配置技術を駆使して高精度なパターンを作成し、欠陥のリスクを低減しデバイスの歩留まりを向上させる多くの機能を誇っています。