中古 CANON FPA 3000 i4 #9361809 を販売中

CANON FPA 3000 i4ウェハステッパーは、精密半導体製造に使用される高解像度、高速リソグラフィ装置です。4インチ以上の半導体ウェーハに対応するよう設計されており、最大解像度は0.25µmです。大面積レチクルを高速で効率的に露出することも可能で、大量生産に最適です。このシステムは、スキャンステッパーを使用してウェーハを正確に移動させるプレアライナーステージに基づいています。これは、0。6 NAレンズまたは0。7 NAレンズの2つのレンズの選択で構成することができます。これにより、より高い解像度と画質が得られ、マスクメーカーはそれぞれの分野で競争力を維持できます。CANON FPA-3000I4には、正確かつ再現可能なアライメント用のオートフォーカスユニットもあります。この機能により、各マスクが適切に整列し、露出プロセスが一貫して正確であることが保証されます。オートフォーカス機は、露出前に各マスクを迅速かつ効率的に設定するため、ダウンタイムの削減にも役立ちます。ステッパーには、コントラストと高スループットを向上させる高度なイメージングツールも含まれています。このアセットには、高度なデジタルイメージプロセッサが含まれており、レンズ収差の補正に関連するオーバーヘッドを修正およびぼかしを修正して、スループットを最大化するのに役立ちます。また、残留画像ノイズを低減するためのノイズ低減アルゴリズムも進化しています。FPA 3000I4は、自動洗浄や露出後のベーキングなど、さまざまなバックエンドプロセスにも統合されています。ステッパーには2つの高トルクウェーハスピナーがあり、自動的にウェーハを回転させ、正確かつ再現性のある洗浄を提供します。このモデルには露出後のベーキングステーションもあり、正確な温度と湿度制御を可能にし、複数のランでサイズが一貫していることを保証します。最後に、ステッパーには高度なデータ収集および分析機器が含まれており、最大25,000個のウェーハの結果を保存および分析できます。これにより、生産動向を監視し、異常や欠陥をタイムリーに検出し、プロセスパラメータとレシピを最適化して歩留まりを改善できます。全体として、CANON FPA-3000 I 4は、最も要求の厳しい半導体リソグラフィおよびエレクトロニクス製造要件を満たすように設計された信頼性と生産性の高いウェハステッパーです。0.25µmをはるかに下回るサイズの特徴を作り出すことができるので、高解像度のイメージングや大量生産に最適です。