中古 CANON FPA 3000 i4+ #9256525 を販売中

CANON FPA 3000 i4+は、先進的な半導体製造業界の厳しいニーズに対応するために設計された最先端の大容量ウェハステッパーです。ウェーハ上にフォトマスクをパターニングするための超精密光学装置と、生産ロット全体の精度と再現性を確保するマルチゾーン自動アライメントシステムで構成されています。このユニットは、最も複雑なパターンの洗練された高解像度イメージングに適した、照明力の最大175Wを提供します。フォトマスクとウェーハの正確な寸法登録を可能にする3つの軸からなる2段階の光学アライメントを備えています。2つの高解像度カメラには、ミクロンレベルのスキャン解像度が含まれています。ウェーハステッピングマシンは、自動スキャンと露光時のウェーハとマスクの比較を含む、超精密で再現性の高い計測システムを備えています。FPA 3000 i4+は、80nmのベストケース解像度で、サブ100nm解像度のイメージングが可能です。高度なマルチゾーン露出アルゴリズムを使用して高い歩留まりを確保し、内蔵のマスキングオーバーレイによってさらに強化されます。付属の光学ツールは、色収差と収差を最小限に抑え、高精度で再現性に優れています。高いスループットと優れたウェーハハンドリングを実現する自動ウェーハフィードアセットを内蔵しています。ステッパーはまた、20mmまでの動きを可能にする新しい最大垂直移動モデルを備えており、複雑なウェーハ形状の3Dパターニングを可能にします。この高度なステッパーには、100万個あたりの欠陥レベルを達成することができる、縮小可能スケーリングのための高度なヒューリスティクス装置もあります。直感的なユーザーインターフェイスを備えており、カスタムプログラムによる制御が可能であり、トラブルシューティングと監視のためのリモートアクセスオプションも備えています。CANON FPA 3000 i4+は拡張性を考慮して設計されており、変更された製造技術やニーズに対応するアップグレード性を提供します。幅広い基板に対応し、直径200mm〜450mmまでのウエハに対応可能です。これは、要求の厳しいウェーハ処理のための非常に効率的で信頼性の高いソリューションです。