中古 CANON FPA 3000 i4 #9238745 を販売中

CANON FPA 3000 i4ウェハステッパーは、ウェハレベルのフォトリソグラフィ用途に最適な半導体イメージングツールです。この装置は、4つの高感度プロジェクションオプティクスを備えており、歪みを最小限に抑えた優れた解像度と高速プロセス速度を実現するために最適化されています。CANON FPA-3000I4は、最小限のエッジドージング効果で正確なウェハレベルの動作精度を保証するPerfect Layer Transfer Technologyを搭載したマスクレスリソグラフィーアプリケーションに特に適しています。FPA 3000I4は、優れた画質を確保するために、40nmの数値開口光学システム、自動化された測定ツールを使用した自動アライメントと調整、および傷に強く、傷がつきにくい基板保護のための効果的な化学オーバーコートを利用しています。さらに、投影パターンの変動を最小限に抑えるために、完全均一照明などの高度な照明方法を取り入れています。このツールの組み込みプロセス制御、動作安定性、およびプロセス監視機能はすべて、歩留まりの最大化とコスト削減を可能にするために機能しますが、事前に承認されたプロセス・マシン構成はプロセスの変動を排除します。CANON FPA-3000 I4に組み込まれたその他のパフォーマンスブースターは、ステージ表面の高度な温度制御と非平面を補償することでプロセス結果を向上させるContour Technologyです。このツールの合理化された機能と優れた特性により、CANON FPA-3000 I 4は半導体生産ラインにおいて貴重な資産となり、高いスループット率と優れたリソグラフィ結果を保証します。このアセットを使用することで、製造メーカーは低ラインエンドのプルバック、優れたCD均一性、高解像度のラインパターニング、および正確なオーバーレイアライメントを実現することができます。さらに、このツールはモデルの拡張とアップグレードを容易にするように設計されており、FPA-3000 I 4は信頼性が高く、費用対効果が高く、生産性の高いリソグラフィーソリューションを求める業界にとって理想的な投資となります。