中古 CANON FPA 3000 i4 #9238727 を販売中

CANON FPA 3000 i4は、高度な半導体製造のために設計された高度なマルチステージプロジェクションアライナーです。キヤノンFPA-3000I4は、最新の技術を採用し、20〜200ナノメートルコンポーネントの精密な解像度とアライメントを実現しています。その高度な投影光学装置は、2ナノメートルの無修正の解像度を可能にし、非常に精度の高い困難な小さな半導体部品の正確な配置とアライメントを可能にします。これは、アクティブな3Dアライメントとコンポーネントの登録を可能にするオンボードリアルタイムメトロロジーシステム（RTSM）と完全に統合されています。FPA 3000I4は非常にエネルギー効率が良い。それは低雑音、無声冷却装置およびいろいろ革新的な照明システムを特色にします；高効率ハロゲン、Ar+メタルハライド、i-line光源を搭載した4ビームイルミネーションマシン（IFIS）。これにより、幅広いウエハサイズと材料にわたる部品の正確かつ均一な露出が保証されます。堅牢で精密なメカニズムにより、あらゆる方向で高速かつ正確な動きを可能にし、比類のないレベルの精度と再現性を提供します。プロジェクションヘッドには、高度なRTSMと高精度光学を組み合わせた高精度で精密なステージ補償ツールが組み込まれており、20ナノメートルまでの部品を正確に配置できます。FPA-3000 I 4には、ユーザーがより効率的な半導体プロセスの進歩と開発を容易にするためのカスタムソフトウェアルーチンを開発できる、完全に自動化されたアプリケーション開発環境もあります。最後に、キヤノンFPA 3000I4は、資産トレーサビリティ機能や簡単に交換可能なコンポーネントなど、メンテナンスとアップグレードを簡素化するための重要な運用サポートも提供します。FPAはさらに、安全で安全な操作を提供し、ユーザートレーニングを容易にし、複雑なリソグラフィ作業への迅速な参入を可能にします。