中古 CANON FPA 3000 i4 #9121239 を販売中

ID: 9121239
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
i-Line stepper, 8" Reticle: 6" I/F: Mark-8 1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4は、先進的な半導体製造のために設計された最先端のウェーハステッパーです。マイクロミリメートルの精度でウェーハアライメントやイメージングを行うことができ、微細な特徴を持つ極めて高精度なウェーハを製造します。このツールは、イメージング用のレチクルを自動的にロードおよび位置決めするための4チャックレチクルステージを備えています。ステッパーは、標準的なフォトマスクパターンとカスタマイズされたフォトマスクパターンの両方を処理できます。また、画像処理能力を高める高速光学系や、精密な位置制御のためのモーター付きレンズユニットも付属しています。ステッパーは、トレンチ、カバー、中断ショットなど、複数の露出タイプをサポートしています。また、画像解像度とコントラストを向上させるための複数の露光を備えた強化されたカメラマシンを備えています。さらに、更新された波形ジェネレータとコントローラにより、パターンの微調整が容易になります。CANON FPA-3000I4は、ステッパー内の粒子汚染を効率的に最小限に抑え、イメージング中の周囲環境の影響を低減するように設計されています。これにより、最高の製品品質が保証されます。また、FPA 3000I4は、ウェーハ形状の違いを自動的に補正する高度な機能認識ソフトウェアも搭載しています。これにより、ウェーハの曲率に関係なく、理想的な画像アライメントが保証されます。ステッパーは強力なCPUによって駆動され、高いデータ帯域幅とギガビットイーサネット接続を備えています。これにより、パターニング作業中の処理時間が短縮され、データ転送がスムーズになります。このツールは、300 mm、 200 mm、および125 mmのウェーハにパターンを作成することができます。この汎用性により、高度な設計を取り入れた幅広いデバイスやコンポーネントの生産が可能になります。FPA 3000 I 4は、最も厳しい業界標準を満たすことが証明されており、多くの大手メーカーによって広く採用され、信頼されています。今後も信頼性の高い高精度な性能を提供するため、先進的な半導体製造のためのゴーツーウェーハステッパーとなっています。
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