中古 CANON FPA 3000 i4 #9121238 を販売中

CANON FPA 3000 i4は、市場で最も高い精度とサイズのウェーハステッパーです。この完全自動化装置は、高度な大規模集積装置（A-LSI）や独自のスキャンメカニズムなど、キヤノン独自の技術を搭載したフォトンリソグラフィーステッパーで、その分野で高い性能と信頼性を提供します。システムは、メインユニット、光学ヘッド、パターンジェネレータで構成されています。本体は、安定性と精度を確保する頑丈なフレームです。また、3次元での光学ヘッドの滑らかな動きを保証するために、精密供給機構、最高の位置決め精度のための高精度の計測ユニット、および高速、効率的かつ正確なスキャンのための円筒形モーターが装備されています。光学ヘッドは一次収差補正レンズマシンで構成され、ウェーハ径25mmまでの4nm線幅の優れた画質と解像度を提供します。暖房機能を持つ環境チャンバーは、最高の作業条件と安定したプロセスを確保するために、光学ヘッドの一部でもあります。パターンジェネレータは、回路パターンをウェハに転送するために使用される投影光学部品です。デュアルピクセルチップを搭載し、高速なプロセススピードとシーケンス機能を実現し、さまざまな回路パターンや露出を処理できます。CANON FPA-3000I4は、2。5 μ mまでの解像度で4nmの線幅を提供することができ、高度なパッケージングを含むあらゆるレベルの半導体製造に最適です。そのステッパー技術は、印刷やエレクトロニクスなどの様々な業界の大型部品の製造にも適用可能です。このアセットは、完全に自動化された環境とデジタル操作と組み合わせて、幅広いアプリケーションにおいて最高レベルの精度と信頼性を保証します。