中古 CANON FPA 3000 i4 #9121236 を販売中

CANON FPA 3000 i4は、高精度、高スループット生産を可能にするさまざまな機能を備えた精密ウェーハステッパーです。このデバイスは、高度な3D IC、微細加工、光学部品、およびその他の高精度アプリケーションの生成のために設計されています。CANON FPA-3000I4は、最小チャックサイズ150mm、最大450mmの4、6、8インチウエハから選択するオプションで、可能な限り最高の均一性を生成するために最適化された高性能i-lineソースを使用しています。FPA 3000I4は、特許取得済みのTMMS （Two-Step Hyperbolic Mirror System）テクノロジーを使用して設計されており、露光分野全体にわたって優れた均一な照明を可能にします。これは、露出領域を必要なサイズに制限し、焦点深度を向上させるために設計されたマイクロレンズアレイによって強化されています。これにより、露出結果の最大の精度と再現性が保証されます。FPA-3000I4はまた、収差を低減し、アライメントの問題を排除する独自の光学技術を備えています。これには、複合レンズと対称レンズ、偏光ビームスプリッター、プリズムのセット、虹彩アセンブリが含まれます。これにより、デバイスは光路内の収差を効率的に維持し、光の波面誤差を正確に制御することができます。これにより、動作中にウェーハを高精度に露出させることができます。また、FPA 3000 I 4は、各デバイスの高品質な画像を提供するために露出精度を最適化するダイツダイ露光制御を備えています。このデバイスは、レンズウェーハアライメントとフォーカスを可能にする自動ウェーハハンドリングシステムを使用しています。これに加えて、装置にまたチャックごとの4kgの積載量の150mmのチャックの直径が、あります。これにより、デバイスはさまざまな産業アプリケーションに対応できるようになります。CANON FPA-3000 I 4には、露出計算、組成、パターン生成、フルデータ解析を利用できるライセンスのソフトウェアスイートが付属しています。また、オンボードプロセスモニタを搭載しており、シンプルで有意義な露出データ分析が可能です。これに加えて、装置はシステムへの損傷の危険を減らし、円滑な操作を保障するために安全システムと設計されています。CANON FPA 3000I4は、最高精度のウェーハステッパーです。その豊富な機能により、最高の精度とスループットを保証します。これには、高性能のi-lineソース、TMMSテクノロジー、マイクロレンズアレイ、収差を低減する独自の光学技術などの機能が含まれます。さらに、ウエハハンドリングの自動化、ソフトウェアスイート、フルデータ分析用のオンボードプロセスモニタも備えています。これらの機能のすべては、ユーザーが最高品質の結果を達成できるようにするために一緒に来る。