中古 CANON FPA 3000 i4 #293607519 を販売中
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ID: 293607519
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
i-Line stepper, 8"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
1994 vintage.
CANON FPA 3000 i4は、半導体製造および試験に使用されるキヤノンのウェハステッパーです。本装置は、4軸アライメントシステムを内蔵しており、ウェーハの正確なアライメントを確保し、露光とレーザーアライメントを実現しています。最大解像度は0。5ミクロンで、最大0。2ミクロンまでのサイズを作成できます。NDUV（近紫外線）光源は、長波長（UV-A）と短波長（UV-B）の両方の照明を提供します。これにより、銅や高k誘電体などの難解な半導体材料を使用しても、画像の対照的なシャープ化と正確な測定が可能になります。ステッパーは精密な細部に正確に焦点を合わせるために高度のスキャン機械を利用し、イメージの汚れを防ぎます。これは、従来のハイエンドステッパーよりも大幅に高速で、最大2。3 µm/sでスキャンすることができます。さらに、NAが0。5までのレンズを含む、光学系やレンズの広い範囲をサポートすることができます。このツールは、CCDカメラを含む検出デバイスのいくつかの異なるタイプと統合することができます。さらに、温度、湿度、不活性ガスなどの多くの環境制御を備えており、正確で一貫した結果が得られます。CANON FPA 4000 i4も拡張可能で、さまざまなセンサーやデバイスを追加できます。最後に、アセットには防塵、シャッター制御、自動シャットダウンなど、多くの安全機能があります。また、オペレータの健康モニタリングも含まれており、クリーンルーム環境でも安全に使用できます。CANON FPA-3000I4は、半導体ウェーハをナノメートルレベルまで高精度かつ高速に測定・露出できる最先端のウェーハステッパーです。その機能と汎用性の高いプラットフォームを通じて、さまざまな業界のICソリューションに最適です。
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