中古 CANON FPA 3000 i4 #293606921 を販売中

CANON FPA 3000 i4は、ウェーハステッパー技術の研究と進歩の数十年の結果です。このウェーハステッパーは、デバイスの製造において高い精度と精度を提供することができ、多くのアプリケーションに最適です。CANON FPA-3000I4は、最大4800ウェーハ/時（wph）の速度スペックと0.21µmの分解能スペックを備え、業界をリードするパフォーマンスを提供します。最大125mmのフルビューを採用し、ドリフトレス性能を発揮し、一貫性のあるフォーカスと正確なパターニングを実現します。その光源はクリプタン中空陰極ランプであり、各露出に必要な出力を正確に生成する能力を備えています。FPA 3000I4は、高速加速と低振動が可能な2次元XYステージと、任意の設定に配置できるウエハフロアを採用しています。アライメントシステムは、25nm程度のサイズでもマークを正確に認識できるマーク検出機能を備え、高い精度を提供します。さらに、FPA-3000I4は高度でユーザーフレンドリーなCanirecord EX-Lソフトウェアを搭載しており、プロセスオートメーションとリアルタイム監視のためのさまざまなオプションを提供します。この直感的で高性能なプラットフォームにより、ユーザーはウェーハレベルまでのプロセスを監視し、精度を高め、より効率的な使用を可能にします。また、FPA 3000 i4は200mm CCDイメージングシステムを備えており、欠陥検出、ハイダイナミックレンジ画像、オーバーレイ測定、3次元測定など、さまざまな精度の検査を行うことができます。全体として、CANON FPA-3000 I4は非常に高度な技術で、幅広い機能と機能を提供しています。その最先端の機能と信頼性と応答性により、多くの精密加工アプリケーションに最適です。