中古 CANON FPA 3000 i4 #293605760 を販売中

CANON FPA 3000 i4は、半導体の製造に使用されるハイエンドのEUV （Extreme Ultra-Violet）リソグラフィックスキャナです。これは、高精度のリソグラフィープロセスを提供するように設計された信頼性の高い高度なウェーハステッパーです。i4はデュアルコラム構造で、2段スキャンプラットフォームと高度に統合されたウエハハンドリングシステムで構成されています。キヤノンのロールスキャナー技術も活用しています。つまり、ウェーハ表面に露出した後に画像データを電子的に登録し、素早く正確に転送・登録することができます。CANON FPA-3000I4ウェーハステッパーは、13。5nm波長のレーザー光源を備えており、ウェーハ上にパターンを高精度かつ高精度に配置することができます。i4はまた、最大12kHzの高い反復率を内蔵しており、単一のショットでの大きな露出を可能にします。i4は高いスループットレートを提供し、最大400wpm（毎分ウェーハ）の生産性の向上を実現します。これは、データの高い反復速度と迅速な転送、およびデューティサイクル間の短い準備時間によって可能になります。また、ウェーハステッパーは、加速や振動によるパターンの歪みを最小限に抑える優れた共振スキャンシステムを備えています。これにより、デバイスパターン形成の高精度を実現します。最後に、低熱ドリフトと独立した安定したレンズシステムを使用して、収差と歪みを防ぎます。これにより、ウェーハ上のパターンの正確な露出が保証され、半導体デバイスの歩留まりとコストパフォーマンスが向上します。要するに、FPA 3000I4ウェーハステッパーは、ハイエンド半導体デバイスの製造に適した高度で信頼性の高いリソグラフィ機です。