中古 CANON FPA 3000 i4 #293604649 を販売中
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ID: 293604649
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
i-Line stepper, 6"
Absolute distortion NA 63 sigma 65:
DX: ≤0.050 µm
DY: ≤0.050 µm
Focus range: <0.25 µm
Mag range: <2 ppm
Resolution:
L/S: 0.35 µm
Depth of focus:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≥0.8 µm
Image field deviation:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≤0.5
Missing lots parts
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4は、半導体製造に使用されるフォトリソグラフィ機器の一種であるウェハステッパーです。このステッパーは、強力なシンクロスカンシステムと独自の4ビーム光源を使用しており、量産に優れたイメージング性能を提供します。このユニットは、高いスループット、優れたオーバーレイ精度、および他の多くの高度な機能を備えています。CANON FPA-3000I4ステッパーには、4ビーム投影レンズと同期スキャンミラースキャナが装備されています。このマシンは0。5 NAレンズで駆動され、優れた均一性、小さなスポットサイズ、高コントラスト比を提供します。これにより、シングルビームシステムでは困難な小さな形状を印刷することができます。高度な光学系とアルゴリズムを採用しており、より高速なスキャンと画像処理を可能にします。このツールはまた、正確な位置決めとトレーサビリティのための高精度のX-Yステージを備えています。ステージは堅牢な制御アルゴリズムによってサポートされ、高速かつ正確な動きを保証します。3000nm/sまでの移動が可能です。さらに、解像度は0。02nmで、これまでにない小型のフィーチャーサイズと高精度を実現しています。また、FPA 3000I4はマイクロバンプアライメント技術を採用しており、基板配置のスムーズ化と迅速なアライメント最適化が可能です。このアセットは、最大8インチのサイズのウェーハに対応するように構成でき、1時間あたり最大16個のウェーハに対応できます。このモデルには、直感的なワークスペースコントロールを備えた直感的なUIを提供するソフトウェアパッケージが付属しています。全体的に、FPA 3000 I 4は、大量生産を念頭に設計された非常に高度なウェーハステッパーです。優れたイメージング性能とスループットを提供し、正確なアライメントとトレーサビリティを兼ね備えています。この装置は、信頼性の高い効率的なリソグラフィーソリューションを探している生産施設に最適です。
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