中古 CANON FPA 3000 i4 #293591997 を販売中

CANON FPA 3000 i4
ID: 293591997
i-Line stepper 0.35µm Lens data.
CANON FPA 3000 i4は、半導体加工に使用されるウェハステッパーです。多種多様な露光技術により、微細な寸法精度を提供するように設計されています。CANON FPA-3000I4は、NA (Numerical Aperture)が大きく、ズーム型の投影装置を備えており、作成可能な画像の解像度と精度を高めています。このシステムは、露出ごとに必要な時間を短縮し、達成された結果の精度を高めるように設計されています。FPA 3000I4には4つの高度なフォトコラムがあり、高い光出力と優れたイメージング性能を提供します。また、2組のCCD、 6位置自動アライメントユニット、および洗練されたプログラマブルウェーハポジショナーを備えています。高度なアライメントマシンは、各ダイまたは設計の正確なオーバーラップと露出を保証します。プログラマブルなウェーハポジショナーにより、高精度で再現性のあるマルチレイヤーデザインが可能です。FPA 3000 i4には、レーザー直筆(LDW)、電子ビーム(EB)、イオンビーム(IB)、ガンマ線(GR)など、幅広い露光技術があります。LDWは0。1ミクロン程度の微細なパターンを作成するために使用できますが、EBはさらに小さな細部を生成するために使用することができます。IBおよびGRはまた0。01ミクロンまで細部を作り出すのに使用することができます。FPA-3000 I 4は、さまざまな用途に対応できるように設計されています。CANON FPA 3000I4は、ESD(静電放電)やレーザーの安全性などの危険から保護するために、フルスペクトルの保護を提供するように設計されています。内蔵の安全機能は、リスクを軽減し、安全な作業環境を確保するように設計されています。さらに、FPA 3000 I 4は高い精度と再現性を提供し、より良い結果とより高い歩留まりを可能にします。高性能な機能を備えたFPA-3000 I4は、高い精度で複雑なパターンを作成するための費用対効果の高い方法を提供します。このツールは、半導体業界で貴重なツールであることが証明されており、製造者が生産を増やし、利益を最大化するのを助けることができます。
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