中古 CANON FPA 3000 i4 #293587251 を販売中

CANON FPA 3000 i4
ID: 293587251
i-Line stepper 0.35µm.
CANON FPA 3000 i4は、高度で高性能な露光機能を提供するように設計されたコンビネーションスキャナ、ステッパー、およびリソグラフィ装置です。このシステムは、レチクルやフォトマスクやウェーハの非レチクル露出など、高度な光学イメージングとパターニングを含むさまざまなアプリケーションに対応するように調整されています。キヤノンのFPA-3000I4は、半導体、ライフサイエンス、バイオテクノロジー、オプトエレクトロニクスの研究開発など、複数の産業で使用できます。このユニットは、再現性と信頼性の高い結果を提供し、さまざまなプロセスや材料に優れた画質を提供します。FPA 3000I4は、ディープUV CANON ARCOSやベクトルスキャンのサポートなど、最新のイメージング技術を搭載し、最大150mm/秒のスキャン速度を実現しています。最先端の3軸光学段階とFシータレンズを採用し、プロセス全体にわたって高精度なアライメントとフォーカシングを提供します。これにより、あらゆる露出で材料を加工するパターンを正確かつ正確に露出させることができます。さらに、FPA-3000I4は高精度のアライメントツールを備えており、±1µm精度を0.2µm以上の精度で提供します。FPA 3000 I 4は信頼性が高く、一貫して正確で安定した露出性能を提供するように設計されています。この目的のために、アセットは露出サイクル全体を通して優れたプロセス安定性を保証する多数の機能を提供します。これには、堅牢な真空モデル、クローズドループコンベア制御装置、信頼性の高い電源、および高度な温度制御システムが含まれます。このユニットはまた、操作が簡単になり、多くのユーザーフレンドリーな機能を提供します。画像パラメータと露出設定を制御するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を提供します。さらに、このマシンは、GDSII、 OASIS、 TIFFなど、さまざまなデータフォーマットをサポートしています。CANON FPA 3000 I 4は、高度なイメージングとパターニング技術、正確なアライメント機能、ユーザーフレンドリーな機能を組み合わせた高精度なリソグラフィ露光を実現します。これにより、さまざまな業界にとって理想的なソリューションとなります。
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