中古 CANON FPA 3000 EX6 #293817785 を販売中

CANON FPA 3000 EX6は、半導体製造および研究開発用に設計されたウェハステッパーです。6X低減比の先進ステッパーで、より高い均一性とオーバーレイ性能を実現し、最大300mmウェハの加工が可能です。キヤノンFPA-3000EX6は、キヤノン分野で実績のある最新世代のリソグラフィ機器です。高精度なリソグラフィ性能を実現できる画期的なコンパクトステッパーです。これは6X削減を備えており、大幅に精度と均一性を向上させます。この6X減速比と高いオーバーレイアライメント精度により、1。5nmという小さな幾何学的欠陥を生成します。このシステムはまた、365nmから248nmまでの特殊フォトレジストのための幅広い露光波長を備えています。FPA 3000 EX6は、特殊なマスクイメージング方法を使用して、優れたマスキング精度と均一性を提供します。特殊な光学ユニットとマスクレスリソグラフィ技術により、可能な限り最高の精度と均一性を提供します。また、高度な高速スキャンステージを備えており、最大4mm/秒で移動し、10秒でウェーハを正確にスキャンできます。このマシンは、統合された機能と高度なプロセス制御ツールを備えた最高レベルのプロセス制御を提供するように設計されています。直感的な操作に便利なユーザーフレンドリーなオペレータインターフェイスを備えています。このツールには、最先端の高信頼性で堅牢なQuattroシリーズのソフトウェアとプロセス制御モジュールが装備されています。柔軟性の面では、FPA-3000EX6を簡単に設定してアップグレードすることができます。多重露光によるOPc、 Overlay、 Pitch、 Alignmentコントロールを幅広く提供し、幅広い作業段階、チャックおよび基板アライメントオプション、フィールドサイズ、位置精度に柔軟性を提供します。この資産は、汚染を最小限に抑えるためにクリーンルームで実行するように設計されています。モデルは10,000クラスにベントされ、不活性ガス供給に接続することができます。高度な冷却装置は、過酷な環境で動作しながら、正しい安定した動作温度を保証します。CANON FPA 3000 EX6は、完璧なプロセス性能、柔軟性、ユーザーフレンドリーな操作を提供します。これは、高度な半導体およびナノテクノロジーメーカーに最適です。