中古 CANON FPA 3000 EX5 #9114042 を販売中

CANON FPA 3000 EX5は、半導体デバイスの製造に使用される高度で高性能なウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、シリコンウェーハや半導体薄膜などの基板上に非常に精密なパターンや構造を作成するために特別に設計されています。この装置は5nmの超高解像度を備えており、詳細なパターンや構造を作成する必要がある研究者や科学者に最適です。キヤノンFPA-3000EX5は、高度な光学系、特に高性能な液浸対物レンズ、ビームを正確に集中させ、パターニング精度を確保できる高NA制御システムを搭載しています。光学系に加えて、6。2メガピクセルの解像度を持つ高度な高感度充電デバイス（CCD）カメラも内蔵しています。これは、非常に高精度で小さな特徴を測定するための強力なツールを研究者に提供します。このマシンは、最大3つの別々の露出ヘッドでさらに構成可能で、1つのセットアップで複数のウェーハを正確に整列させることができます。これにより、1つのステップで複数の基板をイメージしてパターン化することができ、スループットとコスト効率が飛躍的に向上します。FPA 3000 EX5は、さまざまなスキャン方法を使用して、各パターンが正確に複製されるようにします。スキャン速度の広い範囲で、研究者は自分の時間を最大限に活用していることを確認することができます。スキャン速度は100mm/s以上に達する可能性があり、研究者は生産性を向上させることができます。このアセットはまた、非ガウス型とガウス型の間の選択肢を提供し、特定のアプリケーションに最適な方法を選択することができます。FPA-3000EX5はまた、ユーザーがデータを入力し、リモートでモデルを制御することを可能にするさまざまなインターフェイスを備えています。これにより、ユーザーは必要に応じて機器を素早く簡単にプログラムすることができ、高度な産業アプリケーションにとって貴重なリソースとなります。最後に、このシステムは長期的な信頼性と再現可能な精度のために設計されており、細部まで一貫して製造されています。これらの機能は、高度で信頼性が高く費用対効果の高いウェーハステッパーとして、CANON FPA 3000 EX5を確立しています。