中古 CANON FPA 3000 EX4 #9359426 を販売中

CANON FPA 3000 EX4は、精密リソグラフィ用に設計されたハイエンドウェーハステッパーです。サブミクロメータ精度のため、ウエハー上で超小型機能サイズを製造することができます。高度な4チャンバー光学素子と、迅速なアライメントと細かい操作のためのいくつかのアライナーと計測装置が装備されています。また、高速多軸装置と一体化し、長期安定運転が可能です。本体はアルミニウムや強化プラスチックなどの耐久性のある素材を使用しており、長期間の使用と最大限の信頼性を実現しています。その大きいLCDのタッチ画面はユーザーが容易に装置を監視し、制御することを可能にします。このウェハステッパーには、複数のウェハを自動処理できるロボティクスシステムが搭載されています。CANON FPA-3000EX4には、高感度の光学素子を加熱チップから保護するための冷却ユニットが内蔵されています。この冷却機には、熱吸収ファンユニット、熱電シャッター、ラジエーターのセットが含まれています。また、レンズの表面角度の変化を検出して測定できるレーザー干渉測定ツールも備えています。これにより、より良いアライメントとイメージングのためのリソグラフィープロセスの精度が保証されます。ステッパーは、1つのウェーハ露出サイクルで複数の処理ステップを実行する機能を備えています。これには、レジスト、露出、ウェーハの硬化、露出パターンの剥離の適用が含まれます。ビームスキャン同期制御と選択可能な露出時間設定を備えており、パターニングプロセスをさらに最適化します。FPA-3000 EX4は、薄膜、高度なパターン、より小さな基板上の高解像度パターンなどの高度な地域構造の微細部品を製造することができます。さらに、このウェーハステッパーは、研究およびデバイス生産関連アプリケーションの両方において、動的性能、高いスループット、高精度、およびコスト削減のメリットを提供します。