中古 CANON FPA 3000 EX4 #136890 を販売中

CANON FPA 3000 EX4は、様々なフォトマスクや基板を正確かつ正確にアライメントするフルフィールドプロジェクションアライナー（FFPA）です。このウェハステッパーは、高精度フォトマスクおよび基板加工プロセスに不可欠なツールです。この装置は、フォトマスク、ウェーハ、光学/MEMS製造の幅広いアプリケーションにとって非常に貴重なツールとなっています。CANON FPA-3000EX4の主な利点は、フォトマスクと基板をナノメートルの精度に正確に合わせることです。フォトマスクと基板の均一な照明と正確かつ正確なアライメントを保証する2次元非接触画像センシングシステムを備えています。この精密なアライメントにより、回路パターン、線、エッジなどのフィーチャーを正確にアライメントできます。FPA-3000 EX4は高い精度、再現性、スループットを備えています。ウェハレベルの最先端イメージング技術を使用して、アライメントプロセスの精度と安定性を向上させます。また、露光条件、設定、サンプルサイズの変化を正確に補正し、非常に高解像度のアライメント精度を提供します。FPA-3000EX4には、アライメント中にフォトマスクと基板を正確に配置できる完全自動モーションコントロールツールも付属しています。高度なモーションコントロールアセットは、動きの速度と方向を正確に制御することで、高精度なアライメントを保証します。自動化されたモデルは、正確なアライメント補償を提供するように構成されているため、より高いプロセス精度が得られます。CANON FPA-3000 EX4には、露出設定やパラメータをカスタマイズできるさまざまな電源およびデコーダ制御オプションが付属しています。また、操作と制御を容易にするために、幅広いグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えたユーザーフレンドリーなソフトウェアも付属しています。このシステムはまた、高度なフォトマスクや基板の製造に理想的なツールになる幅広い機能を提供しています。このユニットは、さまざまな露出アプリケーション用にウェーハの正確かつ制御された露出を提供する統合露出機を備えています。このツールはまた、自動データ計算とストレージを提供し、より効率的な製造プロセスを可能にします。アセットには、ユーザーがモデルを正確なニーズに合わせてカスタマイズできる幅広いオプションのアクセサリーもあります。オプションには、モニターシステムや精密パターンチューニングハードウェアなどのアクセサリ、自動クリーニングハードウェアなどがあり、ユーザーは正確な要件に合わせてカスタマイズされた機器を作成できます。FPA 3000 EX4は、高精度フォトマスクと基板の製造のための強力で汎用性の高いツールです。このシステムの高精度なアライメントと幅広い機能により、さまざまなフォトマスク、ウェーハ、光学/MEMS製造プロセスにとって非常に貴重なツールとなります。