中古 CANON FPA 3000 EX3 #9077395 を販売中

CANON FPA 3000 EX3ウェーハステッパーは、ウェーハ上の集積回路を迅速かつ正確に製造するために設計された最先端のリソグラフィ装置です。高解像度の光学イメージングシステムと高度なウェーハステージを組み合わせ、ダイレベルの精度を実現しています。このユニットは、高度な乾式ガラスチューブイメージングコラム、大きな12インチのワークエリア、調整可能なステップと繰り返しサイクルタイムを備えています。FPA 3000 EX3は、180 mmまでの幅広いレチクルおよびウェーハサイズをサポートする機能を備えています。ステッパーは、高精度、再現性、均一性を備えた最大200mmウェーハをサポートする高度なウェーハステージを採用しています。ステージには3つのリニアドライブと1つのロータリードライブシステムがあり、スムーズで正確な位置決めとスキャンが可能です。ステージは、高速露出アプリケーションを可能にする調整可能な加速と減速プロファイルを備えています。精密な集中のための高度な自動コリメーション技術を備えています。これにより、CANON FPA 3000 EX3は、線幅の歪みが極めて少ない高解像度の画像を生成できます。オートコリメーションツールは、可変焦点速度と再現性も提供します。イメージングアセットは高速スキャンドライブと組み合わされており、最大のステップスキャンとリピートのスキャン速度は200mm/sになります。このモデルは、手動ウェーハの位置決めの必要性を最小限に抑える自動レチクルアライメント機能を備えています。アライメント装置は、ステージ上のウェーハを再配置することなく、さまざまなアライメントオフセットで複数の露出を可能にします。また、オンボードウェハマッピングシステムを備えており、オーバーレイ測定と補正が可能です。FPA 3000 EX3は、半導体アプリケーションに適した多くのスマート機能と機能を誇っています。高いスループット、同時マルチパス機能、高い製品歩留まり、統合欠陥検査、カスタマイズ可能なイメージングソリューションを提供します。このユニットは、LED、 MEMS、 RF ICなどの高度な半導体製品の製造に最適です。優れたエンドプロダクト性能、強化されたエンジニアリング機能、製造環境へのシームレスな統合を提供します。