中古 CANON FPA 3000 EX3 #293817789 を販売中

CANON FPA 3000 EX3は、半導体ウェハ内の微小回路の製造に使用されるウェハステッパーです。高性能アライメント装置で、0。1 μ m以下の解像度のシリコンウェーハ表面に小さな構造物を生成することができます。半導体業界向けに特別に設計されており、デバイスの機能と製造層の正確なアライメントを提供します。FPA 3000 EX3は、デバイスのフィーチャーアライメントとパターニングにさまざまな技術を使用しています。サブミクロンの精度と高精度を実現する自動校正システムを搭載しています。ナノファインダーIIIの自動アライメントユニットにより、従来のアライメントシステムと比較して50Xと200Xの利点を提供します。このマシンは、低ビネット光学ツールを使用してアライメント精度を保証します。CANON FPA 3000 EX3は、ウェーハの積み降ろしのための高精度ステージを備えています。マイクロウェーファーのモーションコントロールは6軸で、XY平面に沿った2軸のスキャン機能と露出機能、およびデバイス機能アライメント用の4軸ウェーハ配置アセットを備えています。このモデルには、レーザー検出および飛行時間（TOF）技術を使用した高速機能認識装置も組み込まれています。この技術により、デバイスのサイズと位置精度をサブミクロンレベルまで決定することができます。FPA 3000 EX3は、i-line、 ArF、またはKrFステッピングソースを使用したフォトリソグラフィから、バイナリやquincunxなどの高度なパターニングプロセスまで、さまざまなプロセスでの動作を可能にします。これにより、マスクアライナー、露光システム、深紫外線（DUV）ステッパーなど、幅広い半導体アプリケーションが可能になります。また、CANON FPA 3000 EX3は、サーボ制御とモータ駆動技術を高度化し、高精度な双方向モーションコントロールを実現し、精度や速度を損なうことなく実現しています。このシステムには、ウェーハの動きとリアルタイムのパターン化された動きと画像取得のためのオンボードの高度なサーボユニットが含まれています。これにより、迅速かつ正確なウェーハ位置とパターン認識が保証されます。FPA 3000 EX3は、グラフィカルユーザーインターフェイスを介して直感的な操作やリアルタイム診断など、多くのユーザーフレンドリーな機能も提供しています。自動化されたウェーハプレゼント機能とエッジ検出機能により、簡単なウェーハロード/アンロード処理が可能です。また、予防保全モードも備えており、再現性と信頼性の高い動作を保証します。また、他の製造プロセスに容易に統合できるように設計されています。全体的に、CANON FPA 3000 EX3は強力で正確なウェーハステッピングツールであり、高いスループットで優れたアライメントとパターニング精度を提供します。それは柔軟性、取付けおよび維持の容易さのために設計され、上限の半導体の製作および他の高度装置特徴およびウェーハの整列の適用にとって理想的です。