中古 CANON FPA 2500 i3 #9394903 を販売中

CANON FPA 2500 i3は、0。10 μ mから2。00 μ mまで、選択可能な解像度を提供する高度なウェーハステッパーです。高いパターニング精度と再現性を実現し、高品質な金型の生産を可能にします。CANON FPA-2500I3は、200mmウェーハステージを備え、高速X-Yステージと統合されたウェーハマッピングサーボを備えており、ウェーハを任意の場所に迅速にアライメントおよび位置決めできます。高度な光学フラットチャックと近接スキャン装置は、アライメントと位置決めの精度を確保するのに役立ちます。また、迅速かつ正確にウェーハをロード、輸送、およびアンロードするためのゴム製ウェーハ配信システムが装備されています。FPA-2500 I3は、350mUVの最大照明パワーと18 x 18mmの最大フィールドサイズを提供します。また、635nmレーザービームユニットを搭載し、優れた光スループットとパターニング性能を実現しています。高出力レーザービームを使用することで、高品質と高精度を保証し、露光時間を短縮できます。光アライメントの面では、FPA 2500 i3は精密コリメータとスキャンレンズ、光収差補正システムを備えています。また、二重屈折レンズマシンを誇り、収差を低減し、全体的な光学性能を向上させます。最後に、CANON FPA-2500 I3は、コスト効率に優れた高品質の金型生産のための厳しい実際の性能要件を満たすように設計されています。シャッターフリー、連続反復露出に最適化されており、ウェーハ加熱および冷却システムの組み込みにより、一貫したダイプロファイルとスループットの均一性が保証されます。FPA-2500I3は、高品質の金型を一貫して製造するために使用できる信頼性の高い高度なウェーハステッパーです。高精度なアライメントと光学フラットチャックと強力なレーザービームツールにより、正確さとウェーハスループットの向上を実現します。さらに、シャッターフリーの連続露出および温度制御システムを追加することで、金型プロファイルの均一性と一貫性が確保され、効率と費用対効果が向上します。