中古 CANON FPA 2500 i3 #9229104 を販売中

CANON FPA 2500 i3は、微細加工プロセスで使用される高精度ウェハステッパーです。従来の走査型電子ビームシステムよりも小型で高速な画像が可能なステッパーです。キヤノンFPA-2500I3は、200ナノメートルの精密アライメントであらかじめ調整された露出が可能です。装置は0。48 NAの照明システムおよび151 mmの長い作動距離を特色にします。視野全体は100mmで、正方形は2576mmである。FPA-2500 I3は、セミアクティブなアライメント機能を備えた35mmスルーレンズ解像度を実現します。ステッパー自体は全自動アライメントユニットを備えたマルチフィールドウェーハステッパーです。照明と光学機械の組み合わせにより、ステッパーはフィールド全体に非常に正確なアライメントを提供するように設計されています。NAI（ノーマルエリアイルミネーション）とEI（拡張エリアイルミネーション）の2つの屈折イメージングモードを備えています。NAIモードはフィールド分解能に使用され、EIモードは解像度で高コントラストを達成するために使用されます。CANON FPA 2500 I 3ステッパーは、高度なオートメーションツールと大きな環境チャンバーを備えています。これにより、長時間稼働した後でも、体重を完全に安定させることができます。自動化アセットは、ステッパーが複数のスタンプの精度を維持することを可能にする精度と再現性を可能にします。FPA 2500 i3には、幅広い露光時間があり、幅広いプロセス制御が可能です。また、マルチレベル露出、同時露出、ステップ露出などのさまざまなスキャンモードも提供しています。これにより、様々な基材との互換性が可能になります。イメージング精度に関しFPA-2500I3は、60ナノメートルのフィーチャー登録精度が可能です。さらに画像精度を維持するために、ステッパーには2ミクロンルールとエリアベースのオートフォーカス補正が装備されています。これにより、露出精度が向上し、アライメント精度が安定します。ステッパーには高露光モニターモデルも装備しています。この装置を使用すると、露出時間データを測定および監視し、プロセスワインホールを利用することができます。この監視システムは、カスタマイズ可能で拡張可能な列制御も可能です。これにより、ジョブの実行を制御することができます。全体として、FPA 2500 I 3は極めて精密な微細加工プロセス用に設計された先進的なウェーハステッパーです。幅広い自動化機能を持ち、高精度な画像処理を可能にします。正確なイメージングを保証する機能や、能力とプロセス制御を拡張する機能を備えています。