中古 CANON FPA 2500 i3 #293817809 を販売中

CANON FPA 2500 i3ウェハステッパーは、リソグラフィ技術の大きな飛躍です。これは、エレクトロニクス業界で非常に複雑な集積回路の製造に使用されるように設計されています。その精度と機能は、最先端のICを開発するための幅広い新しい可能性を開きます。キヤノンFPA-2500I3は5ミクロンのスポットサイズを有し、25nmのオーバーレイ精度で約0。15ミクロンのライン幅の精度を実現します。さらに、長時間の焦点時間を必要とせずに、低用量で高解像度で複数の露出線量を分配することができます。これにより、次世代の中高電圧ICに適しています。FPA-2500 I3は157 nmの波長で動作するため、0。18 μ m〜65 nmの技術などの用途に非常に適しています。このツールは、パターンの均一性の高いレベルを提供し、最大0。30ミクロンのアライメントエラーを補償することができます。これにより、高い露出を必要とせずに高精度なパターンを生成することが可能になります。ステッパーにはウェハレベルのコントローラも装備されており、高速ウェハアライメント、オートフォーカス調整、ウェハレベルのデータ収集が可能です。複数のウェーハを一度に管理できる機能を備えており、最新のソフトウェアとアルゴリズムを使用して更新することで、最高の精度と精度を得ることができます。生産性の面では、FPA 2500 I 3は市場で最も高速なウェーハステッパーの1つです。最大120mm/秒のスキャン速度を持ち、軽量プラットフォームにより、1時間あたり最大150台のウエハースキャンを簡単に実行できます。これにより、高出力製造設備に適しています。FPA-2500I3のエネルギー消費量も低く、工具の消費電力を最小限に抑えながら最適な性能を実現する省エネ機能を搭載しています。これは、長期的に機械の運用コストを削減するのに役立ちます。全体として、FPA 2500 i3は次世代ICの製造に優れた精度と生産性を提供する高度なウェーハステッパーです。その高度な機能は、運用コストを最小限に抑え、一貫した正確な結果を保証します。