中古 CANON FPA 2500 i3 #293809116 を販売中
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CANON FPA 2500 i3ウェハステッパーは、0。25ミクロンのプロセスノードで小型半導体デバイスや部品の製造に使用される高性能で高解像度のリソグラフィ装置です。高精度で高精度な基板表面にパターンを生成するためにi-line光学を利用した高度で広い視野ステッパーを備えています。CANON FPA-2500I3は、必要に応じてNA （Numerical Aperture）を改善するためのアクティブなアライメント機能とともに、9,500ステッピングピクセルを備えています。これにより、ウェーハからウェーハ、ロットまで、正確で繰り返し可能なパターン配置とオーバーレイが可能になります。それはアートワークのための必要性なしで均等に配られたパターンの生成を可能にする1：1の映写レンズが装備されています。さらに、i3ステッパーは10xステージを内蔵しており、大型ウェハに最適です。FPA-2500 I3ウェーハステッパーは、4インチから12インチまでの幅広い基板に対応するように設計されています。それは異なった露出のための最適解像度を提供する高度のイメージ投射装置が装備されています。さらに、ステッパーにはエアブラシモジュールが含まれており、露出前に基板のベーキングと脱ガスを統合して提供します。FPA-2500 I 3は、1時間あたり最大500ウェーハ、最大75ウェーハのスループットで動作可能です。FPA 2500 I 3ウェーハステッパーは、露光環境に均一性を追加し、高精度とスループットを保証するマルチゾーン温度制御システムを備えています。さらに、ステッパーには低ゆがみ、反振動ユニットが含まれており、基板の熱ゆがみを低減します。また、静電気を低減するアクティブクリーンマシンも含まれているため、パターニング中の均一性と精度を確保します。CANON FPA-2500 I3 Wafer Stepperは、ユーザーフレンドリーな操作ツールを搭載し、高効率で直感的な操作を実現しています。さらに、このアセットには特別なソフトウェアスイートが付属しており、新しい基板のテストと検証に関連する時間とコストを削減できます。CANON FPA-2500 I 3電源は、信頼性と一貫した動作を実現するために最適化されており、セットアッププロセスの複雑さを軽減します。ステッパーには、信頼性を高め、メンテナンスコストを削減するための防食機構と防塵設計が内蔵されています。
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