中古 CANON FPA 2500 i3 #293792039 を販売中

CANON FPA 2500 i3は、油圧ダブルフレーム設計のウェハステッパーです。高精度、高スループット、低ランニングコストを独自に組み合わせた先進的なリソグラフィ装置です。キヤノンFPA-2500I3は、高解像度パターニング機能を備えた高効率リソグラフィーシステムです。従来のフォトマスクで実現可能なものよりもはるかに細かい機能を生成することができるため、半導体産業の不可欠な部分です。FPA-2500 I3は、標準フィルムサイズが5mm、最大チップサイズが8mmまでの大規模なハイスループット設計です。0。50 μ mのサブミクロンのフィーチャーサイズ機能を備えた高解像度で、ステップまたは反復可能な直線移動とオーバーレイ機能を組み合わせて実現できます。また、フレキシブルなフォーカスと様々な照明プロファイルを提供します。CANON FPA 2500 I 3は、高性能コンポーネントと高度な制御システムで構成された堅牢で信頼性の高いマシンです。1 μ mの精密なヘテロ精度アライメントを可能にするリニア移動制御ツールと、高画質の多重露光機能を利用しています。アセットには、効率的なWebプロファイリングと画像読み込みを可能にする包括的なボードとソフトウェアがあります。Webオートメーションには、自動化されたWeb処理、可変層の厚さ、プロセス制御の安定性、機能の優れた解像度が含まれます。また、真空フード設計により、露出窓全体に優れたパターン整合性、安定性、平坦性を提供し、常に完璧なレイヤーパターンとポジティブフィルムコーティングを保証します。さらに、FPA-2500 I 3にはマルチフレームコントロールデバイスがあり、極端な条件下でもエラーのない配置とパターニングが保証され、プロセス制御が向上します。CANON FPA-2500 I3は、次世代の製造要件に備えて、最新のCANON技術を容易にアップグレードでき、生産ニーズに革新的で費用対効果の高い利点をメーカーに提供します。優雅な曲線と美しい輪郭を持つFPA-2500I3は、常に変化する半導体市場において汎用性、効率性、精度、コスト効率を可能にするリソグラフィ機器です。