中古 CANON FPA 2500 i3 #293762557 を販売中
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CANON FPA 2500 i3は、集積回路リソグラフィ用大径フォトマスクのパターニング用に設計された最先端のウェハステッパーです。業界をリードするマスクサイズは最大1500mmで、ライン幅は0。75 µmという卓越した解像度を誇るキヤノンのFPA-2500I3は、比類のないイメージング精度と高いスループットを提供します。FPA-2500 I3は、高度なイメージングと照明システムを採用しています。ピンホールアレイを含む2段コヒーレント照明装置は、イメージングフィールドの優れた均一性を保証し、ライン停止やレンズ収差などの妨害要素の影響を排除します。高精度な六角形を採用し、マスク基板に関連した照明場の位置を精密に制御し、最高精度を実現しています。CANON FPA-2500 I 3は、高精度なステージコントロールも備えています。高精度な位置再現性と縦方向の精度を実現するため、高度な前補正機構を備えたモノリシックで超滑らかなワンピース構造を採用し、ユニット収差を最小限に抑えます。これにより、FPA 2500 i3は優れた印刷精度を保証することができます。さらに、FPA-2500I3はまた、日々の操作を容易かつ効率的にする強力なメンテナンスと操作機能のセットを提供しています。Focus Monitor Machineは、光学センサーと解析アルゴリズムを使用して、焦点深度、コントラスト、線幅などのカメラパラメータを正確に追跡および監視し、イメージングおよびパターニングプロセスを迅速かつ正確に実行します。全体的に、FPA 2500 I 3は、集積回路リソグラフィに使用される大径フォトマスクの高速かつ正確なパターニング用に設計された強力で正確なウェハステッパーです。ワンピースのモノリシック構造、高度な照明、イメージング、ステージ制御システム、モニタリング機能により、あらゆるデジタル半導体製造研究所で不可欠なツールとなっています。
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