中古 CANON FPA 2500 i3 #293736139 を販売中
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CANON FPA 2500 i3は、半導体デバイスの製造に使用されるウェハステッパーです。このツールは、生産環境で最先端の光学リソグラフィ性能を提供します。CANON FPA-2500I3は、高速パターニングレート、精密アライメント、および高収率プロセスを提供します。0。2〜0。3ミクロンのパターン特性サイズに優れた露出精度を提供し、ICパッケージング、MEMS、 LED光学マスキングなどの幅広いプロセスに最適です。FPA-2500 I3は、低パターニング速度、高精度マスクアライメント、均一なビーム形成など、幅広い露出機能を備えています。これにより、製造プロセスのさまざまな層にわたるパターン精度が保証され、マスクの欠陥による変動がほとんどないようになります。CANON FPA-2500 I3は、独自のCANON Precision Alignment System （C-PAS）技術により、ミリ秒のセトリング時間でナノスケールマスク位置決め精度を実現します。高精度のリニアモーターサーボにより、安定した正確なウェーハ配信を実現し、シームレスな動作を実現します。FPA-2500I3は3,725 mm2の広い露出面積を有し、4ビーム露出によりパターニング時間を短縮します。また、高解像度のステッピングコントロールユニットと4GBのRAMを備えた高速なFIBプロセッサを備えており、処理するパターンの数を最小限に抑えることができます。ステッピングコントロールユニットは自己診断であり、迅速なメンテナンスのために独自の故障診断を実行できます。さらに、CANON FPA-2500 I 3は、露光光学系において低トータルな運用コストと高いスループットを提供します。このツールは、パターン露出のための露出条件の広い範囲と所有コストの低コストを備えています。また、キヤノンおよびサードパーティのサプライヤーの各種レジスト材料との互換性があり、高度な半導体デバイス製造のための汎用性と効率的なツールとなっています。CANON FPA 2500 I 3は、半導体製造市場に不可欠なツールであり、デバイス製造およびパッケージングプロセスにおいて比類のない精度と精度を提供します。高度なパターニングレート、高精度なアライメント、最高の露出精度により、FPA-2500 I 3は幅広いデバイス用途に最適です。
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