中古 CANON FPA 2500 i3 #293646546 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
CANON FPA 2500 i3 Wafer Stepperは、半導体ウェーハの精密機能をパターン化するために設計された高度なリソグラフィーツールです。高解像度のイメージングとタイトな幾何学的精度を実現するための高度な光学系および精密スキャンステージを備えています。CANON FPA-2500I3は、248 nmのクリプトンフッ化物エキシマレーザー（KrF）を使用して、高性能光学を介して目的の基板領域に成形および誘導することができる光ビームを生成します。ステッパーは、0。30から0。50までの可変的な数値開口（NA）機能を提供し、さまざまなパターニング用途でサブミクロン分解能イメージングを可能にします。FPA-2500 I3は、最大スループットと精度を実現するデュアルレーン搬送システムを備えています。CANON FPA-2500 I 3は、高度なウェーハアライメントシステムと組み合わせて、ウェーハの正確な位置決めを保証し、高精度なパターニングを実現します。また、高度な画像処理と高度なベクトルベースのパターニング機能を備えており、ウェハ検査、ジョイントカット、高精度ファイバパターン書き込みアプリケーションに適しています。ステッパーは機械的再現性を念頭に置いて設計されており、高い精度で常に重要な機能をパターン化することができます。さらに、長期的な信頼性を提供するだけでなく、簡単なメンテナンスと操作を提供するように設計されています。CANON FPA 2500 I 3は、柔軟な設計により、ICパッケージング、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、テクニカルセラミックスなど、さまざまな高度なアプリケーションをサポートします。フォトマスクやウェハリソグラフィに最適で、大量生産が可能です。
まだレビューはありません