中古 CANON FPA 2500 i3 #293601755 を販売中

CANON FPA 2500 i3は、高解像度パターンによる精密リソグラフィープロセスを可能にする没入型ウェーハステッパーです。ステッパーは、フォトレジストコーティングされたウェーハ表面にマスクを通して光を投影することによって動作します。機械は0。25-1。0マイクロメートルの決断のパターンを作り出すことができます。CANON FPA-2500I3のプラットフォーム設計は軽量で柔軟性があり、さまざまな設定で使用することができます。このマシンは、i-LINE、 DUV、 DUV ArFなど、いくつかの光学システムをサポートしています。マスクは、生産性を向上させ、パターンオーバーレイを小さくするために6インチのターボ回転レチクルを採用しています。さらに、ステッパーは大きな作業面を備えており、より大きなサイズのウェハを処理することができます。表面汚染からの保護のために、機械の光学は液体浸漬され、囲まれるように設計されています。さらに光学系を保護するために、イオナイザーを機械に組み込み、環境からの静電気を排除します。これにより、画質に干渉しないことが保証されます。この機械にはACR（汚染防止反射）ユニットもあり、空気中の粒子量を95％削減するのに役立ちます。ハイスループットはCANON FPA-2500 I3の大きな目標であり、この実現に役立つ多くの機能を搭載しています。カメラは5チップのCCDセンサーを内蔵しており、より高速な画像キャプチャが可能です。ステッパーは最大170個のウェーハ/時間処理が可能で、優れた画像忠実度と高解像度パターンを実現します。さらにスループットを高めるために、マスクとウェーハの迅速かつ正確なアライメントを可能にするCANON "Autofocus-and-Align'機能を使用しています。マシンは、さまざまなモーションコントローラのすべてに接続されているオンボードコンピュータを使用して動作します。この集中制御システムは、高精度と高精度を提供します。さらに、このマシンには、リモート操作、データ転送、および機械診断を可能にする内蔵の通信インターフェイスがあります。安全対策として、マシンにはアンチバンピングデバイスもあり、ユーザーによるすべてのアライメントパラメータの適切な検証の前にマシンが移動するのを防ぎます。全体として、FPA-2500I3は精密リソグラフィープロセスのための優れた機械です。高度に自動化されており、高いスループットで優れた品質の高解像度パターンを生成することができます。機械の柔軟性と安全性の特徴は、さまざまな種類のアプリケーションに最適なツールです。