中古 CANON FPA 2500 i3 #293595403 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293595403
ヴィンテージ: 1995
Stepper, 6"
Reticle size: CANON STD, 5"
Wafer feeder: L-Type
PA Unit: O.F Type, 6"
Chamber: TBW-CD73
Illuminator: FPA-2500 i-line
Console version: V 5.20 A
A Scope: i-Line, TTL
O/Z-Tilt unit: (3) Piezo stacks (L,M,R)
Support mount: (4) Servo passive dampers
Rated power: 18.7 kVA
Lamp house: 1.5 kW
Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase
1995 vintage.
CANON FPA 2500 i3は、先進的な半導体デバイスを製造するために設計された、高性能で高精度なウェーハステッパーです。ウェーハステッパー(Wafer stepper)とは、ウェーハの一部を一度に選択的に露出させることで、シリコンウェーハに画像を転送するためのフォトリソグラフィーツールの一種です。キヤノンFPA-2500I3は、4kWレーザー露光源を搭載し、最大300mmまでのウェーハをスキャン可能です。厚さ0。22um、 0。25umの解像度でウェーハにパターンを適用することができ、高精度な露出と卓越した精度と解像度を提供します。ステッパーは、グラフィカルユーザーインターフェイスと複眼ホームポジションファインダーを備えた14インチのフルカラーLCDパネルを含む、高度に自動化された効率的な露出を保証するさまざまな機能を備えています。このマシンは「正方形ごとに」露出スタイルで動作し、迅速かつ正確なウェーハアライメントを可能にします。さらに、自動露出システムを使用して、正確な露出時間を可能にし、露出エラーや画質の問題を防ぐために露出を自動的に調整します。FPA-2500 I3の他の機能には、高速書き込み速度、低背景ノイズビーム、低温フラッシュランプ、および新しく設計されたビーム輸送システムがあります。この機能により、書き込み時間が非常に短くなり、露出時間を完全に制御できます。このマシンは、高速かつ効率的な生産プロセスのために設計されており、最小の切り替え時間を必要とし、同時に複数の露出を可能にします。全体として、FPA-2500 I 3は例外的なウェーハステッパーです。高度な機能、高解像度、高精度露光により、高いスループットで優れた結果を提供できます。このマシンは、高度な半導体デバイスの製造に適しており、そのユニークな機能により、今日の多忙で高度に自動化された生産環境での使用に最適です。
まだレビューはありません