中古 CANON FPA 2500 i2 #9411085 を販売中
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CANON FPA 2500 i2は、高度な半導体デバイス処理用に設計された高度なウェーハステッパーです。2500i2は、幅広いアプリケーションに適合するコンパクトな設計と、操作が簡単な直感的なユーザーインターフェイスを備えています。この装置は、高度なソフトウェアアルゴリズムとハードウェアコンポーネントを使用して、高精度、高感度、高スループットを提供します。2500i2は、自動車や医療などの先進的な用途に最適な汎用性の高いツールです。キヤノンFPA-2500I2は、最大0。2〜0。5 µmのサイズ位置決め精度、最小露光時間20ミリ秒、最小露光面積6 mm、最大露光面積150 mmの高精度・高精度を提供します。これらの機能はすべて、ウェーハをすばやくコピー、書き込み、およびチェックできるため、高いスループットレートで補完されます。2500i2はまた、露出の拡大を低減するスキャンビジョン、一貫性のある露出値を達成するための差動露出、高度なアルゴリズムを使用してプロセスの一貫性を最適化し、スループットを向上させる適応露出制御などの高度な露出技術を備えています。2500i2 3軸ステージは、高精度画像処理のためのスループットと柔軟性を向上させます。オートステージは、2500i2レンズ上のウェーハを正確に位置決め、振動させ、露出領域を正確にキャプチャします。また、ロードロック、レーザー駆動、ウェーハハイトチェッカー、リニアリティステージ補正、ウェーハポジション誤差補正などの多くのパラメータを備えており、露出領域全体での一貫したアライメントとイメージングを保証します。FPA-2500 I2は、ユニットカスタマイズのためのモジュラープラットフォームを提供し、特定のアプリケーションに合わせてプロセスを調整することができます。自動化のためのFLA-300、 FLA-400、 FLA-1000などのキヤノンイメージングソフトウェアに接続することができます。また、高度なイメージング用途にはオプションのDRY-20Mドライフィルム露光ユニットを追加できます。このツールは、最適化された画像解像度、精度、および柔軟性のために設計されています。FPA 2500 I 2は、高精度、高感度、および高スループットウェーハステッパーイメージング操作に最適なツールです。高度なソフトウェアアルゴリズム、直感的なユーザーインターフェイス、高速なスループット、幅広いアプリケーションの柔軟性を兼ね備えているため、幅広い業界やアプリケーションに適しています。
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