中古 CANON FPA 2500 i2 #9394905 を販売中

CANON FPA 2500 i2ウェハステッパーは、高度な半導体リソグラフィ装置です。これは、半導体業界の最新のアプリケーションに適した機能と機能の活気に満ちた範囲を誇っています。CANON FPA-2500I2のコアには、193nmの光の最大250mWを出力できる光子源が搭載されています。4。3 μ mまでの露光レベルで最大6。5mm x 6。5mmの投影面積を実現し、接触穴やライン/スペースジオメトリなどの特徴を正確に画像化できます。このデバイスには、キヤノン独自のEDS-電子変位安定性-機能が組み込まれています。これにより、露光中の照明とフォーカス条件を正確に制御し、リソグラフィ結果の精度と品質を劇的に向上させることができます。FPA-2500 I2は、ファインピッチメモリチップの製造など、要求の厳しいアプリケーションに対応するように特別に設計されています。このステッパーは、710 x 710 mmまでの生産領域とともに、28 nmの解像度までの幅広い機能で画像を再現できます。それだけでなく、FPA 2500 i2は双方向フォーカス制御とAdvanced Line Width Controlを実行できるため、高精度で優れた結果を持つ半導体デバイスの製造に最適です。FPA 2500 I 2には、ユーザーの利便性のためのいくつかの高度な機能も含まれています。モジュラー設計で簡単なセットアップと修理が可能ですが、内蔵のメンテナンスマウンターにより高精度の精度が保証されます。さらに、自動アライメント、ライン幅のバリエーションの低減、および高レベル加速のための組み込み機能を備えています。簡単に言えば、CANON FPA 2500 I 2 Wafer Stepperは、優れたユーザー制御、堅牢な物理ベースの機能、および精密な結果を提供する強力なリソグラフィ装置です。要求の厳しい半導体アプリケーションに最適で、ユーザーは最小限の労力で高品質のファインピッチメモリチップを作成できます。