中古 CANON FPA 2500 i2 #9384740 を販売中

CANON FPA 2500 i2は、ハイエンド半導体加工に使用されるウェハステッパーです。キヤノンが開発した複合集積回路生産用の最上位モデルで、マイクロチップメーカーからも高い評価を得ています。この装置は、ステップとリピートアライメントシステムを内蔵しており、2。5ミクロンという小さな機能をエッチングすることができます。また、自動化されたウェーハアライメントユニットと、加工中のウェーハを正確に移動させるための高精度ステッピングステージを備えています。このマシンは2つの光学ヘッドを使用しており、複数のイメージングプレーンを同時に配置および監視することができます。これにより、リソグラフィ用のウェーハのアライメントと位置決めの高精度と再現性を実現します。このウェーハステッパーは、レーザーキャプチャ法（LCM）などのキヤノン独自のイメージング技術と統合されており、製造中に欠陥や不整合を引き起こす要因を最小限に抑えるように設計されています。また、独自の「Auto Switch」機能を搭載しており、マスク層の露出とウェーハの露出を、ユーザーの介入なしにレイヤーパターンをエッチングするための適切な波長に自動的に切り替えることができます。また、Laser MonitorアセットとReflection Magnification and Reductionモデルを搭載しており、より広範囲の露出制御が可能です。これにより、最も複雑な回路でも高品質のイメージングが保証されます。CANON FPA-2500I2は、多方向デュアルゾーンスキャン制御ステージも備えています。これにより、ジッタや振動のない基板の正確なアライメントが保証され、スループットが向上して生産効率が向上します。また、複合集積回路の製造に使用される石英、ガラス、その他の特殊基板などの幅広い材料をサポートし、両面ウェハの複雑な露出やエッチングを行うことができます。また、真空ユニットを内蔵し、ウェーハ加工時の気体汚染を低減し、より信頼性の高い仕上がりを実現しています。全体として、FPA-2500 I2ウェーハステッパーは、ハイエンド集積回路の製造に最適です。複雑な回路設計の正確な生産を保証するために、さまざまな機能と機能を備えており、その高度なイメージング技術は、顕微鏡レベルまで正確な露出制御を提供します。