中古 CANON FPA 2500 i2 #9314257 を販売中
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CANON FPA 2500 i2は、半導体デバイスの製造に使用されるウェハステッパーです。CANON previous stepperの次世代モデルであるFPA 2500i、 CANON FPA-2500I2は、シリコンウェーハ表面にパターンを描画するためのステップアンドリピートツールです。このツールは、193 nmフォトマスクを使用する場合、最大3ミクロンの解像度を達成できます。このマシンには、Elect La Rival Multi Dynamic Focus Aiming装置とMaximum Efficiency Catadioptric （ME2）レンズという2つの高度な光学レンズが装備されています。La Rivalシステムは、優れたオーバーレイ精度を提供するように設計されており、1つの領域ではなく、露光範囲全体の精度を維持することができ、より大きなレチクルに幅広いレンズを使用することができます。ME2レンズは、従来のレンズよりも収差の低減、解像度の向上、振動に対する感度の低さを兼ね備えた強力なデバイスです。FPA-2500 I2はまた、革新的で信頼性の高いリソグラフィ機能と統合されています。CANON独自の「depth monitoring」技術をベースとした高速デフォーカス検出ユニット、ウェーハリソグラフィ工程を支援する仕様精度の高いフォーカスマシン、超精度リソグラフィのアライメントを実現する高精度ステージ位置決め装置などがあります。CANON FPA 2500 I 2は、露光領域全体にわたって優れた均一性を提供することもできます。これは、プロセスをステップバイステップで監視するキヤノンの新しい「i-Uniformity」技術によって可能になり、高い反復性、高精度のイメージングを提供します。また、CANON FPA-2500 I2はロット間の校正の必要性を排除し、より信頼性が高く効率的なツールとなり、より高い歩留まりを保証します。FPA-2500 I 2は、クリーン性の向上と複数の堆積オプションを提供することにより、サイクル時間を短縮するように設計されています。これらのすべての機能と利点により、FPA 2500 I 2は半導体デバイスを製造するという困難な作業のための優れたツールとなります。
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