中古 CANON FPA 2500 i2 #9298440 を販売中

CANON FPA 2500 i2は、ハイスループットウェーハ生産用に設計されたハイエンドのステップアンドリピートウェーハステッパーです。150mmから450mmまでのウエハ加工が可能で、これまでにない精度、再現性、スループットを実現しています。高速スキャンタイムにより、半導体業界で使用される基板に最適です。また、ラピッドプロトタイピングや大量生産にも最適です。CANON FPA-2500I2ウェーハステッパーは、専用のフォーカスイオンビーム（FIB）装置を使用して、各ウェーハを基準面に正確に配置します。統合された高解像度イメージングシステムは、各ウェーハの正確な配置を保証します。精度と再現性を確保するために、FPA-2500 I2にはX軸とY軸の両方にウェーハを配置するために使用される2つのモーターで構成されるステージドライブユニットが装備されています。さらに、ウェーハ温度を-60〜160°Cまで受け付けるように設計されており、幅広い用途に適した成膜およびプロセス温度が可能です。光学イメージングツールは、10倍のマクロ対物レンズと20 μ mのピクセルサイズのユニークなセンサーをサポートするtwocフラット（テレセントリック）レンズで構成されています。これにより、各ウェーハエッジの正確な可視化が可能になり、ミスアラインメントの検出と修正に使用されます。これにより、撮影時に優れたウェーハ形態とエッジの整合性を確保し、ウェーハを取り除きます。FPA-2500 I 2の他の機能には、最適化されたレーザー変位モニター、2段の冷却アセット、簡単にウェハハンドラを取り付けるための統合されたDewarフランジなどがあります。FPA 2500 I 2は、最大3層のウェーハを一度に処理できるように設計されており、最大積載量は約500kg （7。5トン）です。FPA 2500 i2は、最も要求の厳しい生産アプリケーションのニーズを満たすように設計されたプレミアムウェーハステッパーです。高いスループットと精度により、高い生産性に適していますが、高度な機能セットと堅牢な設計により、極端な製造条件でのウェーハ生産に最適です。CANON FPA-2500 I2は、FIBベースのウェーハ配置、高解像度イメージング機能、フレキシブルな温度範囲を備え、あらゆる生産セットアップに不可欠なツールです。