中古 CANON FPA 2500 i2 #9298434 を販売中

CANON FPA 2500 i2は、先進的な半導体製造のために設計された高性能ウエハステッパーです。この機械は、より細い線幅、より高い収率、および圧力に敏感な出力を持つデバイスを生産するのに役立ちます。本装置の背後にある独自技術は、CANONの実証済みiTRACT （Image Transfer、 Registration、 Control Technology）に基づいており、優れたパターン精度と再現性をユーザーに提供します。CANON FPA-2500I2は、従来のフルフィールドステッパー、反復スキャン（RS）ステッパー、ワイドフィールドスキャン（WFS）ステッパーなど、幅広い露光モードを備えています。このシステムのRSモードにより、ユーザーはウェーハの露出領域と露出していない領域の両方で作業することができ、複雑なデバイス構造の生産を支援します。このユニットのWFSモードは、さまざまなオーバーレイステージに対応する際の柔軟性を提供し、従来のステッピングシステムと比較してスループットを大幅に向上させます。FPA-2500 I2にはPeel Exposure Mode （PEM）も搭載されており、複数のレイヤーのオーバーレイを高精度に制御できます。このマシンは2。5 x 2。5 µm imaging_field_areaを誇り、ユーザーは各PEモード層に対してビームサイズを調整することができます。CANON FPA-2500 I2は、露光時間と光強度を調整する機能も提供します。CANON FPA-2500 I 2の汎用性と性能により、高度な回路加工に最適です。このツールは、ユーザーに優れたステッパー精度を提供し、マスク製造に関連する困難な構造とコストを削減することができます。このアセットはまた、ユーザーに幅広い露光モードを提供し、迅速かつ効率的に作業することができます。堅牢な動作により、FPA-2500I2は半導体デバイスの生産に優れたツールです。