中古 CANON FPA 2500 i2 #9298425 を販売中

ID: 9298425
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1994
Stepper, 6", parts system Power: 18.7 kVA Reticle size: 6", CANON STD Wafer feeder: Type-L PA Unit: 6", O.F Type Chamber: TBW-CD60 Illuminator: FPA-2500 i line A Scope: i-line, TTL T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R) Support mount: Servo passive damper 4 Lamp house: 1.5 kW Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz 1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2ウェハステッパーは、主に集積回路の製造に使用される精密装置です。具体的には光学ステッパーであり、ウェーハなどの基板に印刷するためのレチクルステージに光を使用してパターンをイメージします。このステッパーは、高出力の200ワットYAGレーザーを使用して、0。5 µmの解像度でレチクルをパターン化し、そのソースパターンを高精度にイメージングすることができます。精度を確保するために、レチクルをシフトしてウェーハに正しく合わせるために使用されるモーター式のZ軸を備えた位置決めシステムを備えています。この機械は金属と複合材料の組み合わせで構成されており、その強度と信頼性を高めています。デバイスの光学系は屈折、回折などの高性能な要素で構成されており、優れたイメージングを可能にします。さらに、ニコンダストフリーチャンバーを使用して光学系を一定の環境に保ち、画像エラーの原因となる破片や汚染物質を除去します。CANON FPA-2500I2は、すべてのDUV/NUVリソグラフィーシステムと互換性があります。このウェハステッパーは、高精度コントロールと高精度イメージング機能により、シリコンウェハー、チップ、または同様の基板上に印刷するかどうかにかかわらず、非常に複雑な画像を生成できます。このマシンには、外部コントローラを接続するために使用できる2つのシリアルポートがあり、画像を処理してステッパーに送信することができます。さらに、CD-ROMドライブと2。4 Gbハードドライブが含まれているため、ユーザーはデータをバックアップして素早くロードできます。最後に、このマシンは35°Cの温度まで動作すると評価されているため、オペレータは結果を損なうことなく比較的暖かい環境で作業することができます。結論として、FPA-2500 I2ウェーハステッパーは印象的な機器です。信頼性の高いハードウェアと洗練された光学素子の組み合わせにより、集積回路やその他の精密アプリケーションの製造に最適です。
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