中古 CANON FPA 2500 i2 #9298398 を販売中

CANON FPA 2500 i2は、先進的な半自動、光学、ウェーハステッパーです。この装置には、効率と精度のために最適化された、いくつかの印象的な機能が装備されています。例えば、統合されたReflective Super High NA （Ref-SHNA）光学設計は、従来のリソグラフィーシステムと比較して、より高い数値開口を生成することを意図しています。これにより、より小さなフィーチャーサイズを作成でき、より高い解像度とより高い精度が得られます。さらに、回折、散乱、騒音を最小限に抑え、全体的な性能を向上させることができます。機械にはレーザスクライバーが装備されており、スクライビング操作中の振動誤差を低減するために使用される振動抑制システムがあります。これにより、ラインの精度を向上させながらdefocusと汚染を低減します。レーザースクライバーはまた、切断とシンチレーションの3次元を含む高度な設計を備えており、より大きな制御と精度を提供します。CANON FPA-2500I2は、直径200mmまでの広い範囲での撮影が可能で、正確な位置合わせのために、前方、逆方向、回転など、さまざまな方向での撮影が可能です。自動ウェーハ処理機を搭載し、精度・精度の高い高速プロセスを実現しています。さらに、このツールは簡単な操作のためのタッチスクリーンディスプレイを備えたシンプルなユーザーインターフェイスと、特定のパターンに微調整するためのカスタマイズされたレシピを提供します。さらに、Positive （PR）またはNR （Negative）の両方のための宿泊施設が提供され、同様に様々な液体を実装する能力があります。FPA-2500 I2は、幅広い研究、開発、生産アプリケーションに非常に汎用性の高いリソグラフィ資産を提供します。高度な機能と優れた機能を備えたこのモデルは、収率の高い高精度パターンを作成するのに最適なツールです。