中古 CANON FPA 2500 i2 #9298394 を販売中

CANON FPA 2500 i2 Wafer Stepperは、フォトリソグラフィーイメージングを通じて、多種多様な微細な線、パターン、特徴を処理するために設計された精密リソグラフィーツールです。この装置は、5メガワットのArFエキシマレーザーを使用し、超高精度回路およびデバイス製造の厳しい要求に応えるように設計されています。様々な基板にSOC品種や医療部品など、幅広いマイクロエレクトロニクス機器を印刷することができます。このシステムは、5メガワットのArFエキシマレーザー、精密配置用のXYステージ、光学精密レンズ、6軸ロボット構造など、いくつかの精密部品で構成されています。ArFエキシマレーザーは193 nmの波長で出力され、パルス持続時間は10 nsです。レーザービームは光学レンズを介して基板に向けられます。基板にビームがインシデントしたら、XYステージを使用して、アプリケーションが必要とする全体的なパターンを正確に配置します。CANON FPA-2500I2の6軸ロボット構造は、レーザーの能力を最適に活用するために設計されています。ロボットは、最大スキャン速度100,000mm/sのサブミクロン位置決めを可能にする多軸ステッピングドライブを備えています。これにより、大面積の散乱フィールドパターンに高精度のフィーチャー配置が可能になります。また、複数の並列スキャンオプションを提供しており、複数の方向に同時にスキャンすることができます。FPA-2500 I2ウェーハステッパーは、ナノ加工ニーズに優れたオプションを提供します。精度、スピード、柔軟性を兼ね備えているため、マイクロエレクトロニクスや医療部品の製造に最適なソリューションです。このユニットはまた、ビーム分析メーターや統合マイクロ平坦化など、さまざまな後処理機能を提供しています。さらに、CCDカメラとグリッドレーザーアライメントツールを装備しており、大面積パターンの効率的な登録が可能です。