中古 CANON FPA 2500 i2 #9238502 を販売中

CANON FPA 2500 i2は、半導体ウェーハのフォトリソグラフィ処理用の完全自動ハイスループットステッパーです。装置は、広い作動距離を持つ高度な全反射光学システムと高い数値開口度（NA）で構成されています。これにより、最大直径200mm、外形公差最大3µmのウェーハ加工が可能となります。ウェーハは、6軸センサとテンションメータを備えた真空接触段を使用して、ウェーハの表面全体にわたって安定した反復可能な画像を確保するために、マシンに取り付けられています。このツールは、低速と高速のパターンマッチング技術を組み合わせた高度なアライメントステージを備えています。これは、高解像度パターンの再現可能なイメージングを可能にする複数の露光技術と組み合わされています。アセットには、通常の露出と高速露出、露出フィールドステッチ、アレイのスキャンなど、さまざまな露出モードが装備されており、精度と高スループットの複雑な構造でもイメージングが可能です。このモデルには高度な画像キャリブレーション装置が組み込まれており、複数のウェーハで作成された画像が一貫していることを保証します。また、温度変化による露出精度への悪影響を低減するための熱管理ユニットも備えています。CANON FPA-2500I2には、カスタマイズ可能なオペレータ設定を可能にする強力なマイクロコントローラ、完全に自動化されたウェハローディングおよびアンロード機、およびツールの信頼性の高い再現可能なパフォーマンスを保証する高度な露出監視システムも含まれています。このアセットは、200mm （8インチ）のウエハサイズにわたって、0.2J/cm²までの露光量で、高精度の高精度フォトリソグラフィ画像を生成することができます。3000i2は、高密度パターンの高速かつ精密なイメージングが不可欠なフォトリソグラフィ用途に最適です。