中古 CANON FPA 2500 i2 #9033675 を販売中

CANON FPA 2500 i2ウェハステッパーは、高精度半導体製造用に設計された次世代リソグラフィ装置です。広い制御範囲を持つ高精度アクチュエータ、高度な光学素子を備えたプロジェクションユニット、優れた照明装置を搭載しています。CANON FPA-2500I2は、サブミクロンから数百ミクロンまでの高度なリソグラフィープロセス用に設計されており、再現可能な精度は0。5 nmです。このツールは、空気圧を利用してウェーハをサブミクロンのステップで正確に移動させる二重圧力エアベアリングアクチュエータを使用しています。制御可能な範囲が大きいため、非常に再現性を求めて、最大数百ミクロンの幅のある多種多様なパターンを処理するために使用することができます。このアセットは、リソグラフィ製品の精度を高める独自の高度な光学システムで構成された投影モデルを備えています。さらに、高度な位相シフトと照明マスク構造を有する環状スリットを利用した優れた照明装置を内蔵し、被写界深度と画像解像度を向上させることができます。さらに、I2ウェーハステッパーFPA-2500は、多くの安全機能が含まれています。インスキャン光学フォースモニタシステムを使用しており、露光ステップ中のシリコン層の表面損傷や破壊を防止し、イメージング開始前に圧力の変化を検出します。ウェーハステッパーは、機械の温度を制御し、リアルタイムで欠陥を監視できる精密観測ユニットを備えています。全体として、FPA-2500 I 2は半導体製造などの精密リソグラフィ用途向けに設計された優れたウェハステッパーです。二重圧アクチュエータと優れた光学素子を使用して、ナノメートルレベルの詳細で再現可能な精度を保証します。さらに、その安全機能は、オペレータが品質の結果と簡単かつ信頼性の高い操作を楽しむことができることを保証します。