中古 CANON FPA 2500 i2 #293807999 を販売中
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ID: 293807999
ヴィンテージ: 1994
Stepper
Control rack
Console rack
Reticle charger
Wafer loader
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2は、高精度かつ高精度なウェーハステッパーです。これは、高精度のウェーハ生産の要求に応えるように特別に設計されています。このウェーハステッパーは0。2 μ mという驚異的な解像度を備えており、エッジ損失を最小限に抑えてパターンをウェーハに正確に転送することができます。また、CANON FPA-2500I2の最大露光面積は直径9インチで、複雑な形状を持つ大量のウエハを製造することができます。FPA-2500 I2は、ウェーハにパターンを転送する際に精度と信頼性を確保するために、さまざまな先進技術を採用しています。これらの技術には、光線の露出角度を調整することでスリット露出の誤りを防止するスリット・アルゴリズム制御、露出分布を最適化するスキャナー制御アルゴリズム、小径パターンや大径パターンの露出を可能にするマッピング・テーブル・パターン露出などがあります。これらの技術はすべて、高品質で繰り返し可能なパターン転送を確実にするために協力しています。CANON FPA 2500 I 2は、ウェーハステッパパターン転送の先進技術に加え、ユーザーフレンドリーな機能も多数搭載しています。これらの機能には、Windowsのようなグラフィカルユーザーインターフェイス、簡単な操作のための高解像度LCDパネル、露光ユニットの迅速かつ正確なアライメントと位置決めのための自動アライメントシステムが含まれます。クォーツランプコールドミラーは、コーティングを使用して熱露出を最小限に抑え、生産時の熱変形によりパターン印刷が歪まないように、露出ユニットの変形を抑制します。CANON FPA-2500 I2は、高速で再現性の高いパターン転送により、優れたスループットを実現しています。このウェーハステッパーは、1時間あたり最大6,000 （300mm）のスループットレートを持つウェーハを製造することができます。このスループット・レートと堅牢で高精度な技術を組み合わせることで、FPA-2500 I 2は大量のウェハ生産に最適です。結論として、FPA-2500I2は、最高品質のパターン転送とスループット率を確保するために、さまざまな技術を備えた高度で信頼性の高いウェーハステッパーです。ユーザーフレンドリーな機能と高速な生産速度により、大量のウェーハ生産に最適です。
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