中古 CANON FPA 2500 i2 #293608643 を販売中

CANON FPA 2500 i2は、生産環境向けに設計されたウェーハステッパーです。ウェーハ表面に高精度なパターンを正確に作成するために、2次元アライメント法を使用しています。この最先端のマシンは、最大解像度0。3um、フィールドサイズは9。6mm x 9。6mmです。CANON FPA-2500I2の主な応用は、金属、GaAs、 SOIなど、様々な材料のリソグラフィ作業だけでなく、細かいパターニング作業にもあります。FPA-2500 I2には、Edmund Optics Flexible Magnification Systemを含む独自のCANONプロジェクション光学機器が装備されています。このユニットは、高解像度のイメージング機能を提供し、高速で反復可能なアライメントと露出を可能にします。プロジェクションオプティクスマシンは、250mmフルオライトレンズとLaB6陰極電源で動作します。FPA 2500 i2は、マスクアライメント用の高解像度イメージングツールを備えています。この資産は、4つのCCDビデオカメラを使用して、ウェーハ表面のマスクパターンの正確な位置を決定します。アライメントモデルは、マスクパターンをウェーハに正確に合わせるために、すばやくキャリブレーションおよび調整することができます。さらに、画像処理装置は、0。24秒の速いウィンドウキャプチャ時間を誇り、8M画素解像度を向上させました。信頼性向上のため、FPA 2500 I 2にはフィルム重量センサーシステムがあり、フィルム重量の違いを自動的に補正します。また、自動化されたクリーニングユニットを備えており、サイクル時間を短縮し、光学系の塵の汚染を防ぎます。CANON FPA-2500 I2はパワフルで効率的なウェーハステッパーです。Edmund Optics Flexible Magnification Machineは収率を上げることができ、フィルム重量センサツール、自動洗浄アセット、高度なアライメントモデルにより、正確で再現性の高いパターニング結果を保証します。このウェーハステッパーは、高度なリソグラフィおよびファインパターニングアプリケーション向けの信頼性と生産性の高いツールです。