中古 CANON FPA 2500 i2 #293608642 を販売中

CANON FPA 2500 i2は、半導体製造に特化した高精度ウェハステッパーです。ステッパーの高度な設計は、効率的で高性能な操作のための2 μ m&2。5 μ mアライメント精度と10 nmオーバーレイ精度などの高度な機能を提供します。CANON FPA-2500I2は、2つの光学干渉計を使用して2つの軸を監視する埋め込み型クローズドループコントローラを使用して制御され、高精度と安定性を提供します。このマシンはまた、100 μ mの背面焦点距離と0。9 mmの開口部を備えており、光が優れた均一性で提供されていることを確認して、正確なデバイス製造を保証します。この機械は、高精度の多層リソグラフィ装置を使用して、露光時間、フラッシュ強度、露光角度などの露光パラメータを細かく制御します。超精密な画像露出システムは、高精度で制御されたデバイス製造プロセスを保証するのに役立ちます。ステッパーは、正確で効果的な露出制御のための最新のパターン認識技術を利用した全自動露出ユニットを備えています。このマシンはまた、高速で正確で反復可能な多層登録を提供するプロセス監視マシンを備えています。FPA-2500 I2は優れた柔軟性と拡張性のオプションを提供します。広範な引き込み式露出パッケージにより、単層露出から多層露出へのスムーズな移行を可能にし、一定で正確な露出処理を可能にします。CANON FPA 2500 I 2は、最新の半導体デバイス製造の高水準を満たした高精度ステッパーです。機械の高度な機能は、高精度なデバイスの精密かつ正確な製造を可能にします。機械の柔軟な設計により、あらゆる半導体開発設備に最適です。