中古 CANON FPA 2000 i1 #9396114 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、CANONファミリーの最もコスト効率の高いワークホースであるiラインを利用したウェハステッパーです。FPA 2000は高解像度と高精度を兼ね備えており、正確な処理時間を実現しています。モデルi1には、高度なスキャナ機器と、エッジ定義を改善するためのキヤノン独自の光学機器が含まれています。レーザーアライメントとバックライトにより、安定性のレベルは非常に低く、最高レベルの成功を可能にします。また、CANON特許取得済みのScanShift Systemも組み込まれており、ステップおよびリピートアプリケーションでの機能登録の改善に役立ちます。これらの機能により、FPA 2000は、高密度相互接続システム、高電圧CMOS、不揮発性メモリ、MEMSデバイスなど、さまざまなデバイスを製造することができます。対物レンズと開口部は、最小線幅が0。18ミクロンで、アライメント精度は<5nmです。キヤノンFPA2000-I1はまた、粒子の汚染を低減し、さらに解像度を高めるのに役立つ改良された真空ユニットを備えています。その他の特長として、特許取得済みのVLE露光装置、完全に統合された非接触計測ツール、高レベルのオンボードプロセス制御、および自動化されたアライメント資産が挙げられます。VLEモデルは、高い精度と再現性を提供するだけでなく、異なる基板で発生する可能性のあるリソグラフィのボード全体の変動を実質的に排除することが示されています。FPA 2000には、ユーザーが簡単に露出レシピをカスタマイズできるタッチスクリーンインターフェイス付きのインターフェースモジュールが含まれています。高度な制御画面により、ユーザーはプロセスに関連するすべての情報にアクセスし、さまざまなパラメータを制御することができます。焦点位置、分野の平らになること、露出エネルギーおよび光学要素の位置。また、インターフェイスモジュールは、ユーザーが迅速な処理のために複数のレシピを一緒にバインドすることもできます。FPA-2000I1の精密さはそれを高度の生産の必要性のための優秀な選択にします。高密度デバイスやMEMSデバイスの製造など、さまざまな用途に最適なソリューションです。安定した分野で、最も困難な製品に対応することができ、信頼性も高い。